型）连续可调，90mm（升级型FM-CVD石英管式微波等离子体装置
DM-CVD6(基本型)微波频率2.45GHz；足额功率0～500W（基本型）或0～1000W（升级型）连续可调，50mm（基本型）DM-S循环水机
FM3000AC220V5%，50Hz，3000W，真空室极限真空度：10-3Pa，放电管工作电压：0～1500V，放电管电流测量范围200uA～200mA多功能真空实验装置
FM3010AC220V，50/60Hz，7kW，炉膛尺寸：120240mm，额定温度：1600℃，温控精度：1℃，升温速率：10℃/min程控气氛管式炉
FM3020AC220V，50/60Hz，7kW，炉膛尺寸：180200mm，额定温度：1600℃，温控精度： 1℃，