非腐蚀性气体。
特点；
标准模块化设计，易于更换及维修；
便于清洁的设计；
主要性能指标：
适用范围(Pa) 10-5Pa～1.3x105Pa
阀门漏率(Pa.L/S) 1.3x10-5Pa
开闭时间(S) DN63 20；80DN200 30； DN250 48
介质温度（℃） -25～+80(密封材料为丁腈橡胶)
-30～+150(密封材料为氟橡胶)
阀体；304 阀瓣；304 阀杆；304
法兰标准 JB919
信号反馈 标准出厂：带无源触点型
特殊指定：4～20mA DC调节型
安装位置：阀板密封面上端口接泵入气口
电源：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W（特殊规格可定做）
压缩空气（只适用于气动）：0