日期:2012-04-24 08:34
的领域，如测量各种工艺变量、电子特性和物理量，以及传统的运动/定位等。
对传感器的要求更高
随着重大装备制造业在中国的发展，对传感器提出了更高要求。传感器在半导体装备中，除具有多样性之外，对传感器的精度和响应要求也更高;种类涉及温度、压力、流量及位移等。
就半导体设备而言，系统需要采集大量的实时数据，对于某些参数需要响应时间足够短，这就对传感器本身和传输距离有更高的要求。但是，有些传感器自身无法满足这一要求;当集成电路、计算机技术飞速发展时，人们才逐步认识到传感器没有跟上信息技术的发展，在某些场合却