压力：0.14-0.16MPa 0.17-0.5MPa。
6、最大流量：140NL/min当气源压力在0.14MPa时。
7、耗气量：5NL/min当气源压力在0.14MPa时。
8、环境温度：-25℃～+55℃。
9、环境湿度：10-90%RH。
10、最大行程速度：4mm/秒配ZH -22执行机构时。
11、输入阻抗：250 4-20mADC 10010-50mADC。
12、电气连接：G1/2螺纹。
13、气管连接：卡套式气管接头6或8。
14、防爆防护型式等级：隔爆型dDiibt6，本质安全型 iiaIICT6
15、外壳材料：铝合金 喷朔工艺处理
16、外形尺寸：392.5*141.5*231(mm)(长*宽*高)
17、重 量： 3.5kg